有人在看原子彈發(fā)展歷史紀(jì)錄片時(shí)，曾經(jīng)發(fā)出過(guò)感嘆，如果科學(xué)家們有一臺(tái)如今的智能手機(jī)，在計(jì)算相關(guān)公式的時(shí)候，都不會(huì)那么艱難了。

(資料圖)

是的，世界科技飛速發(fā)展，數(shù)十年前設(shè)計(jì)原子彈的計(jì)算機(jī)，其運(yùn)算能力也遠(yuǎn)遠(yuǎn)比不上如今普通的智能手機(jī)，而究其根本，是因?yàn)樾酒a(chǎn)業(yè)翻天覆地的變化。

現(xiàn)在，世界上最好的光刻機(jī)，已經(jīng)能夠制備5納米級(jí)別的芯片，但是，以美國(guó)為首的西方歐美列強(qiáng)，不愿意看到中國(guó)的和平崛起，在尖端光刻機(jī)對(duì)中國(guó)實(shí)施了全面禁售。

奮起追趕的中國(guó)光刻機(jī)，經(jīng)過(guò)數(shù)年的努力，已經(jīng)在中低端領(lǐng)域站住了腳。

這個(gè)情況表明，雖然我們距離尖端光刻機(jī)還有一段距離，但已經(jīng)有能力依靠自己的市場(chǎng)和技術(shù)持續(xù)發(fā)展，甚至可以消滅掉光刻機(jī)全球第一的企業(yè)。

光刻機(jī)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中具有著極為重要的核心地位

很多現(xiàn)代人都有著癥狀程度不一的手機(jī)綜合征，離開了手機(jī)就會(huì)陷入焦躁不安的狀態(tài)，許多人更無(wú)法想象，如果沒(méi)有了手機(jī)、電腦、汽車、冰箱、洗衣機(jī)等電子產(chǎn)品，生活會(huì)變得如何，而且，現(xiàn)代化工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、甚至服務(wù)行業(yè)，也都普遍進(jìn)入了電子時(shí)代，所以，如果沒(méi)有了半導(dǎo)體行業(yè)，那么，整個(gè)社會(huì)的情況都會(huì)一落千丈。

隨著人們對(duì)電子產(chǎn)品的需求量不斷增長(zhǎng)，半導(dǎo)體制造業(yè)也在不斷發(fā)展壯大，光刻技術(shù)作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵技術(shù)之一，在半導(dǎo)體制造行業(yè)中扮演著重要的角色。

光刻技術(shù)從出現(xiàn)到今天，有著許多不同方向、不同模式的技術(shù)方案，包括腐蝕、復(fù)印等不同的工藝方向，還有著光學(xué)光刻、電子束光刻、軟光刻、直接成像等方法，而根據(jù)曝光方式的不同，還可以分為傳統(tǒng)的接觸式光刻、非接觸式光刻等等。

所以說(shuō)，光刻技術(shù)的發(fā)展方向很多，只是有的方向被材料等問(wèn)題所制約，其實(shí)未來(lái)各個(gè)方向都有一定的技術(shù)突破概率。

例如，現(xiàn)在比較主流的，是阿斯麥（ASML）公司曾經(jīng)領(lǐng)先世界的絕活沉浸式光刻技術(shù)，在突破制造65 納米芯片技術(shù)之前，并沒(méi)有受到重視。

但是，在65 納米芯片受阻之后，浸入式技術(shù)一舉突破了技術(shù)桎梏，成為主流光刻機(jī)技術(shù)，直到EUV技術(shù)的出現(xiàn)。

由于美國(guó)對(duì)中國(guó)無(wú)理禁運(yùn)芯片的緣故，使得芯片、光刻機(jī)等科技名詞在大眾中廣泛傳播，即使是外行人也能說(shuō)道二三，對(duì)于光刻技術(shù)中絕對(duì)的核心設(shè)備的光刻機(jī)，大家是又愛又恨。

愛的是光刻機(jī)制造的芯片的確在改變?nèi)祟惿?，恨的是我們無(wú)法制造出世界頂尖的光刻機(jī)。

大眾口中談?wù)摰墓饪虣C(jī)，正式的名稱是光刻對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)或者掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)。

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，就是通過(guò)類似于照片曝光轉(zhuǎn)印的技術(shù)，將極其細(xì)微的圖案從掩膜版上印制到硅晶片上，這一步是芯片生產(chǎn)的核心關(guān)鍵，特別是高端芯片的工業(yè)制備，光刻機(jī)暫時(shí)是人類能找到最好的方案。

所以，光刻機(jī)就成為芯片生產(chǎn)中不可缺少的設(shè)備。

在小小的高端芯片的硅晶片上印制圖案是非常困難的，組成圖案的線條都是以nm為單位，而且還非常復(fù)雜。

對(duì)于現(xiàn)代的工業(yè)制造工具來(lái)說(shuō)，任何刀具都已經(jīng)無(wú)法完成如此精細(xì)的工作，所以，人們就發(fā)明了光刻機(jī)，通過(guò)曝光、顯影、蝕刻等方法，達(dá)到nm級(jí)別的加工精度。

光刻機(jī)的工作標(biāo)準(zhǔn)要求這么高，自然這個(gè)機(jī)器本身也就不簡(jiǎn)單，現(xiàn)代高端的光刻機(jī)是人類工業(yè)水平的集中體現(xiàn)，不但設(shè)計(jì)思路極為復(fù)雜，制造水平也要求極高，在物理、化學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、自動(dòng)化檢測(cè)和控制等方面，都是世界上的最高標(biāo)準(zhǔn)。

光刻機(jī)的原理和作用，對(duì)于普通人來(lái)說(shuō)可能有點(diǎn)陌生，但對(duì)于行業(yè)人士來(lái)說(shuō)，光刻機(jī)的原理是大家都很熟悉的，并不是什么嚴(yán)格保密的機(jī)密。

但是，世界上能夠制造光刻機(jī)的國(guó)家和企業(yè)卻寥寥無(wú)幾，這是因?yàn)?，光刻機(jī)真的就是“工業(yè)王冠上的寶石”，沒(méi)有極強(qiáng)經(jīng)濟(jì)實(shí)力和技術(shù)實(shí)力的國(guó)家，根本就無(wú)法制造出符合技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的光刻機(jī)，甚至想都不敢想。

由于材料制約中國(guó)的光刻機(jī)企業(yè)很難復(fù)制阿斯麥的成功之路

在光刻機(jī)領(lǐng)域，數(shù)得上的企業(yè)也就是阿斯麥、尼康、佳能、上海微電子等四家，這四家企業(yè)占據(jù)了95%左右的市場(chǎng)，但賺取利潤(rùn)最豐厚也是對(duì)市場(chǎng)最重要的，還是阿斯麥公司。

在美國(guó)對(duì)中國(guó)實(shí)行光刻機(jī)封鎖禁運(yùn)的時(shí)候，就會(huì)頻頻提到阿斯麥公司，因?yàn)?，雖然美國(guó)一直在標(biāo)榜自己的科技領(lǐng)先于世界。

但在光刻機(jī)這個(gè)領(lǐng)域中，美國(guó)企業(yè)并沒(méi)有什么出色的表現(xiàn)，現(xiàn)在全球光刻機(jī)市場(chǎng)，高端產(chǎn)品阿斯麥公司占據(jù)了100%的全部市場(chǎng)，次高端產(chǎn)品也有著90%左右的占有率，而這家阿斯麥公司是地地道道的荷蘭企業(yè)。

阿斯麥公司并不是一個(gè)什么歷史悠久、底蘊(yùn)深厚的老牌企業(yè)，最早的時(shí)候，飛利浦公司光刻機(jī)部門不掙錢，所以福利待遇一減再減，惹得在部門內(nèi)部工作的員工們很不高興，大家紛紛討論著既然公司不再重視光刻機(jī)部門了，不如不干了。

不過(guò)，大家是干光刻機(jī)這行的，肯定有著一定的感情和情懷，雖然因?yàn)楦＠龅膯?wèn)題感到不滿，但是大部分人還不想離開光刻機(jī)行業(yè)，于是，大家就商量著出去獨(dú)立干公司，自己給自己掙錢。

在員工的領(lǐng)頭人與飛利浦公司進(jìn)行了一番協(xié)商后，又拉進(jìn)來(lái)一家小半導(dǎo)體公司，合股成立了一個(gè)不帶任何飛利浦痕跡的新企業(yè)。

如此這般，脫胎于飛利浦公司光刻部門的阿斯麥公司成立了，具體時(shí)間是1984年。

剛開始的時(shí)候，阿斯麥公司干得并不好，在光刻機(jī)行業(yè)中的美國(guó)同行、日本同行，實(shí)力和技術(shù)都比阿斯麥公司強(qiáng)。

當(dāng)時(shí)全世界的光刻機(jī)銷量一年有數(shù)千臺(tái)，但屬于阿斯麥公司的只有不到40臺(tái)，而且還是托老關(guān)系賣給飛利浦，利潤(rùn)極其微薄不說(shuō)，靠面子求來(lái)的銷量，不一定哪天就沒(méi)了。

但是，由于阿斯麥公司是一幫離職員工支撐起來(lái)的，大家都憋著一股勁，所有人就靠著微薄的收入苦挨著，希望自己能夠創(chuàng)新技術(shù)、贏得市場(chǎng)，阿斯麥公司這種干挺著努力，一直干了4、5年。

就在這個(gè)時(shí)候，他們突然得到了來(lái)自市場(chǎng)領(lǐng)頭羊的幫助。

光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展迅速、投入龐大，行業(yè)中技術(shù)暫時(shí)領(lǐng)先的美國(guó)GCA公司、日本佳能公司和尼康公司，都不約而同地調(diào)整了發(fā)展戰(zhàn)略。

結(jié)果佳能公司為了追求利潤(rùn)比，自己不再繼續(xù)創(chuàng)新研發(fā)，而美國(guó)GCA公司和日本尼康公司則點(diǎn)歪了科技樹，選擇G線光源路線，放棄了相對(duì)保守的I線光源路線，在遲遲無(wú)法拿出創(chuàng)新成果后，將技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)讓給了阿斯麥公司。

所以，在阿斯麥公司熬過(guò)了創(chuàng)業(yè)的艱難時(shí)光后，終于在1993年左右開始盈利。

同時(shí)，處于技術(shù)人員創(chuàng)業(yè)的思維，他們?cè)谟篑R上就進(jìn)行了高額的研發(fā)投入，并且還在I線光源路線之后，又幸運(yùn)地第二次選擇對(duì)了濕式技術(shù)，兩次關(guān)鍵性的技術(shù)路線正確，讓阿斯麥公司節(jié)約了大量的研發(fā)成本，積累出足夠的行業(yè)優(yōu)勢(shì)，逐漸成為行業(yè)中最好的企業(yè)。

阿斯麥公司的創(chuàng)業(yè)歷程除了幸運(yùn)之外并沒(méi)有什么稀奇的，可中國(guó)企業(yè)想要復(fù)制阿斯麥公司的發(fā)展道路卻非常困難，這是因?yàn)榘⑺果湈缀鯇⑺械募舛瞬考挤职l(fā)了出去。

例如，德國(guó)蔡司的鏡頭、美國(guó)cymer的光源，阿斯麥本身只是進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)控制、技術(shù)研發(fā)和光刻機(jī)整合，這就使得阿斯麥自身的成本很低，而產(chǎn)品的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)很高。

高端光刻機(jī)桂冠落在阿斯麥公司身上，首先是因?yàn)榘⑺果溩⒅匮邪l(fā)，其次是因?yàn)榘⑺果溎軌虿皇芗s束地整合全世界最好的產(chǎn)品部件，最后是因?yàn)榘⑺果溸B續(xù)幸運(yùn)地做對(duì)了選擇，這才使得阿斯麥公司成為世界上最好的光刻機(jī)企業(yè)。

在歐美國(guó)家的嚴(yán)密封鎖下，中國(guó)的光刻機(jī)企業(yè)無(wú)法采購(gòu)到世界最好的產(chǎn)品，而在高精尖的光刻機(jī)行業(yè)中，差一點(diǎn)就是差很遠(yuǎn)。

用次一級(jí)部件制造出的光刻機(jī)，與最高端光刻機(jī)的差距有天地之大，所以，中國(guó)的光刻機(jī)行業(yè)很難復(fù)制阿斯麥公司的成功之路。

雖暫時(shí)無(wú)法研發(fā)頂尖的光刻機(jī)，但我們?cè)谑袌?chǎng)中大有可為

光刻機(jī)是頂尖的工業(yè)技術(shù)結(jié)晶，但并不是所有的光刻機(jī)都必須是最先進(jìn)、最精密的，在中低端的光刻機(jī)市場(chǎng)中，中國(guó)企業(yè)已經(jīng)憑借著刻苦與努力，逐漸的占據(jù)了比較有利的位置，這也是為什么歐美國(guó)家在中低端光刻機(jī)方面，不限制中國(guó)企業(yè)發(fā)展的原因。

所有，只有自己有、才是真的有。

現(xiàn)在，光刻機(jī)中低端產(chǎn)品市場(chǎng)中，中國(guó)企業(yè)的產(chǎn)品已經(jīng)占據(jù)了80%以上的銷量，這個(gè)數(shù)字還在逐年提高，而且，光刻機(jī)的創(chuàng)新研發(fā)也在緊鑼密鼓地緊張進(jìn)行中，也許不久的將來(lái)就會(huì)傳出令國(guó)人振奮的好消息。

同時(shí)，由于中國(guó)經(jīng)濟(jì)騰飛的因素，中國(guó)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)現(xiàn)在是全球最大的芯片銷售市場(chǎng)，每年的銷售量在世界半導(dǎo)體市場(chǎng)占比超過(guò)1/3，銷售1925億美元，而且還在以每年接近30%的速度迅猛提升。

這就使得中國(guó)的光刻機(jī)行業(yè)有了自己的基本盤，能夠在市場(chǎng)方面保證企業(yè)的生存和發(fā)展。

縱觀世界科技發(fā)展進(jìn)步的歷史，有許多行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)被新興市場(chǎng)干掉的例子，曾經(jīng)集合了工業(yè)頂尖技術(shù)、擔(dān)當(dāng)國(guó)家實(shí)力象征的戰(zhàn)列艦，沒(méi)有因?yàn)榇笈诳趶?、?zhàn)艦裝甲、新式火藥等技術(shù)分出高下，而是由于小小飛機(jī)的興起，最后落得徹底無(wú)用、暗淡退世。

在手機(jī)行業(yè)中，曾經(jīng)獨(dú)持牛耳的諾基亞也是如此，功能機(jī)時(shí)代的諾基亞在手機(jī)行業(yè)里銷售占比接近73%。

在智能機(jī)出現(xiàn)之前，很少有人會(huì)相信如日中天的諾基亞會(huì)一夜之間銷聲匿跡，但是在蘋果手機(jī)出現(xiàn)后，通話質(zhì)量、待機(jī)時(shí)間等原來(lái)被市場(chǎng)追捧的熱點(diǎn)技術(shù)，再也沒(méi)有了從前的關(guān)注度，大眾的目光落在了系統(tǒng)、游戲、智能等方面。

新技術(shù)、新材料、新模式，會(huì)帶來(lái)不同的新需求，在擁有市場(chǎng)不敗的基礎(chǔ)后，中國(guó)光刻機(jī)企業(yè)雖然無(wú)法復(fù)制阿斯麥公司崛起并獨(dú)霸市場(chǎng)的道路，但完全可以復(fù)刻阿斯麥重視研發(fā)、注重成本等發(fā)展思路。

在某種程度上，突破國(guó)際技術(shù)封鎖，并壓制阿斯麥公司的發(fā)展速度，甚至改寫光刻機(jī)領(lǐng)域阿斯麥一極獨(dú)大的局面。

例如，在光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展方向的方面，可以謹(jǐn)慎地展開對(duì)EUVA等技術(shù)的研發(fā)，就有可能在該領(lǐng)域的未來(lái)，發(fā)展出具有至關(guān)重要作用的新成果。

在緊追不放的情況下，通過(guò)市場(chǎng)銷售占比，慢慢地縮小中國(guó)光刻機(jī)企業(yè)與阿斯麥公司的差距，并且在技術(shù)、市場(chǎng)等方面發(fā)生變化時(shí)，迅速完成彎道超車。

隨著社會(huì)中智能化產(chǎn)品的廣泛普及，芯片產(chǎn)品的需求不斷增長(zhǎng)，半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展也越來(lái)越重要，在這個(gè)涉及現(xiàn)在與未來(lái)的尖端行業(yè)中，光刻機(jī)屬于其中繞不過(guò)去的核心設(shè)備。

所以，在美國(guó)執(zhí)意要將世界撕裂成對(duì)抗陣營(yíng)的時(shí)候，中國(guó)就不能沒(méi)有屬于自己的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)。

同時(shí)，光刻技術(shù)作為半導(dǎo)體制造業(yè)中重要的工藝之一，其發(fā)展歷程和技術(shù)進(jìn)步對(duì)整個(gè)行業(yè)都具有重要的影響。

在光刻技術(shù)中有傳統(tǒng)接觸式光刻機(jī)、非接觸式光刻機(jī)、雙面對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)等等，在科技不停更新迭代、新技術(shù)層出不窮的今天，也許會(huì)出現(xiàn)更加創(chuàng)新、更加優(yōu)秀的光刻技術(shù)。

那時(shí)，就像智能手機(jī)面世一樣，整個(gè)技術(shù)發(fā)展方向都有可能被更改。

所以，就像電子支付取代現(xiàn)金、大數(shù)據(jù)外賣壓制方便面、蘋果手機(jī)勝過(guò)諾基亞手機(jī)等情況一樣，技術(shù)和產(chǎn)品的存在價(jià)值還是在于市場(chǎng)，在中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)擁有著自己基本盤的時(shí)候，我們就已經(jīng)立于不敗之地，只要我們毫不松懈地緊緊追趕，細(xì)心復(fù)刻ASML的發(fā)家過(guò)程，市場(chǎng)就會(huì)迫使對(duì)方像曾經(jīng)領(lǐng)先的日本企業(yè)那樣，做出錯(cuò)誤選擇、露出致命破綻。

在數(shù)十年前，當(dāng)美國(guó)揮舞著核武器大棒恐嚇全球的時(shí)候，中國(guó)與核武器之間的距離，要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于現(xiàn)在與尖端光刻機(jī)之間的距離。

因?yàn)?，那個(gè)時(shí)候我們是一窮二白沒(méi)有基礎(chǔ)地進(jìn)行奮斗和追趕，而現(xiàn)在中國(guó)已經(jīng)在中低端光刻機(jī)領(lǐng)域取得了一定的成績(jī)，向上攀登時(shí)不是沒(méi)有一點(diǎn)基礎(chǔ)可以支撐，所以，中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)必將會(huì)突破封鎖、迎來(lái)光明。

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