21世紀經(jīng)濟報道記者倪雨晴 無錫、深圳報道

(資料圖)

隨著國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈布局深入，上游設備的關注度快速上升。今年半導體設備的業(yè)內(nèi)盛會，不論從規(guī)模還是熱度都更勝往年。

近日，在2023年中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會半導體設備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上，參展企業(yè)數(shù)量較上屆翻了2.7倍，展示面積則為上屆的3.5倍。

現(xiàn)場，設備廠商、上下游企業(yè)、投資人、分析師等匯聚一堂，多位與會者向記者感慨，今年展會的規(guī)模超出以往，未預料到細分領域的半導體設備也吸引如此多的參與者。

展會增長的數(shù)據(jù)從側面反映，中國半導體設備廠商的隊伍正在逐步壯大，市場需求不斷增加。中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司董事長趙晉榮談道，半導體設備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，中國半導體市場在過去11年來也規(guī)?；掷m(xù)發(fā)展。尤其是近年來在日益復雜的國際形勢下，本土設備業(yè)更是取得了突破性的進步。

但是設備產(chǎn)業(yè)依然挑戰(zhàn)重重。中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，半導體設備要超前半導體制造3~5年開發(fā)新一代產(chǎn)品，雖然我國半導體設備經(jīng)過不斷努力，已經(jīng)取得了長足的進步，但外國設備仍占國內(nèi)設備采購的85%左右。

多位半導體投資者則向21世紀經(jīng)濟報道記者表示，近兩年半導體設備和材料都是重點賽道，但是國產(chǎn)化依然任重道遠。

產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展

近年來國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)一直面臨著外部的打壓，近期美國又在投資領域進行限制。

對此，尹志堯總結認為，這一新政可以算是美國的“第十六招”，“目的是限制我們的集成電路和國外至少5代的差距?！?/p>

嚴峻的環(huán)境疊加國內(nèi)市場的推動，國內(nèi)的半導體設備產(chǎn)業(yè)加速前行。據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對中國大陸77家主要半導體設備制造公司（年銷售收入1000萬元以上）的統(tǒng)計，2022年中國半導體設備的銷售收入完成了593.0億元，同比增長53.6%；半導體設備出口交貨值70.8億元，同比增長119.2%；總利潤達到149.5億元，同比增長66.1%。

其中，2022年前十家設備制造商完成銷售收入438億元，占77家合計收入73.9%。目前我國半導體設備及零部件企業(yè)的數(shù)量也已經(jīng)超過200家。

拉長時間段看，從2019年到2022年，中國半導體設備銷售收入從175.1億元增長到593億元人民幣，年均增長率達到了48.3%。細分賽道中，集成電路設備銷售收入2022年達到319億元，同比增長86.1%，是所有賽道中增長速度最快，也是實現(xiàn)銷售收入最多的市場；同時集成電路設備也是出口交貨值最大的賽道。

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠表示，在海外政策持續(xù)升級對華半導體管制背景下，下游用戶擔心未來斷供等風險，使用國產(chǎn)設備的意愿更加強烈，進一步推動了國產(chǎn)設備發(fā)展，同時，核心部件替代進口也加快了設備產(chǎn)業(yè)化進程，設備核心部件國內(nèi)供應鏈正在形成并得到快速發(fā)展。

根據(jù)協(xié)會統(tǒng)計，以銷售額為統(tǒng)計口徑，2022年國產(chǎn)半導體設備在中國市場占有率為23%，同比增長3.4個百分點；同時，在國產(chǎn)設備市場占有率提升背景下，海關數(shù)據(jù)顯示，去年主要半導體設備中國進口額同比減少8.1%。其中，等離子體干法刻蝕機、化學氣相沉積設備(CVD)以及氧化、擴散、退火及其他熱處理爐進口規(guī)模位居前三，分別同比減少12.7%、11.9%和9.6%。

“預計2023年中國半導體設備進口額會繼續(xù)減少。”金存忠介紹，海關統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，今年上半年中國主要半導體設備進口額為72.94億美元，同比減少13.3%。除分步重復光刻機、集成電路工廠專用自動搬運機器人、研磨機和切割設備外，其余設備全部負增長，等離子體干法刻蝕機上半年進口額甚至同比減少近三成。

相比設備進口額預降，國產(chǎn)主要半導體設備制造商訂單有望穩(wěn)步增長。據(jù)協(xié)會預測，2023年國產(chǎn)半導體設備銷售收入增長38%左右，將達到817億元。其中，集成電路設備預計增長40%，達到450億元；其次第二大細分板塊太陽能電池片設備預計增長35%，達到310億元。

突破與挑戰(zhàn)

一方面，國內(nèi)設備廠商正不斷崛起，包括北方華創(chuàng)、盛美半導體、中微公司、上海微電子裝備等半導體設備龍頭企業(yè)。

即使當前半導體產(chǎn)業(yè)處于低潮期，多家上市的設備公司仍逆勢增長。盛美上海公告顯示，2023年上半年公司實現(xiàn)凈利潤約4.39億元，同比增長85.74%；北方華創(chuàng)預計今年上半年實現(xiàn)歸母凈利潤16.7億元~19.3億元，同比增長121.30%~155.76%；中微公司預計今年半年度實現(xiàn)歸母凈利潤9.8億元~10.3億元，同比增加109.49%~120.18%。

增長的背后是各公司在多個賽道進行了突破。趙晉榮指出，過去幾年，國內(nèi)多家龍頭骨干裝備企業(yè)在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關鍵設備方面取得了突破。本土從事材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的趨勢，在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、重點檢測及精密加工精密陶瓷、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細化工材料等方面都取得了突破性的進展。

另一方面，國內(nèi)半導體設備的成長還要面對重重挑戰(zhàn)。產(chǎn)業(yè)周期層面，多位業(yè)內(nèi)人士向21世紀經(jīng)濟報道記者指出，當前在半導體周期底部，一些中下游制造企業(yè)在縮減資本開支，所以接下來對于硬件設備的需求會帶來一定的影響。

在產(chǎn)業(yè)化方面，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會副秘書長、積塔半導體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，半導體設備的研發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)應用完全不同，其中良率至關重要，如果沒有95%以上的良率，成本就不能降下來。

具體到國內(nèi)的情況，李晉湘指出，我國半導體設備廠商正面臨三個挑戰(zhàn)：一是缺乏某類設備，不能形成體系化生產(chǎn)流程；二是設備齊全，但特殊工藝要求無法滿足；三是設備和工藝雖然完善，但關鍵工藝不穩(wěn)定、不可靠。

同時，他還提到一個痛點，即一些需求量少難度大的設備，國內(nèi)設備廠家不愿意做。雖然從經(jīng)濟和技術難度上考量，設備廠商不做無可厚非，“但是競爭對手在打包賣設備，把量少難度大和量大簡單的設備綁在一起，也會對國產(chǎn)設備產(chǎn)生影響，如果不解決這個問題，量大容易做的設備也會被擠掉?！崩顣x湘說道。

此外，尹志堯還提到了競爭層面的問題，在他看來，惡性競爭的內(nèi)卷是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的絆腳石。比如用各種方式非法獲得競爭者的商業(yè)機密；企業(yè)買了供應廠商的設備，自己也開發(fā)設備，利用便利抄襲；不靠產(chǎn)品技術的先進性，而是靠降低價格，甚至降到成本價以下，不惜虧本競爭；盲目重復的投資造成了內(nèi)卷和低成功率等等。

所以他建議需要政府和行業(yè)制定一些公平競爭的法則和規(guī)范，降低內(nèi)耗，防止惡性競爭來促進產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

最后展望未來，對于2023年的國內(nèi)半導體設備，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠介紹了三個趨勢：2023年國產(chǎn)半導體設備銷售有望繼續(xù)保持增長；2023年中國大陸半導體設備進口繼續(xù)減少；主要半導體設備制造商訂單穩(wěn)步增長。

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