2023年6月29日，半導(dǎo)體和電子行業(yè)年度盛會(huì)SEMICON China 2023在上海新國博中心盛大開幕。作為全球規(guī)模最大、最具影響力的國際半導(dǎo)體專業(yè)展，SEMICON China 2023將吸引世界各地主要半導(dǎo)體設(shè)備材料廠商，90000平方米總面積、1100多家參展企業(yè)、4200多個(gè)展位、20多場(chǎng)會(huì)議和活動(dòng)的空前盛況也刷新了歷年記錄。

SEMICON China2023現(xiàn)場(chǎng)

(資料圖片僅供參考)

作為國內(nèi)集成電路核心裝備領(lǐng)軍企業(yè)，萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體和凱世通攜核心產(chǎn)品、關(guān)鍵技術(shù)、解決方案重磅亮相這場(chǎng)匯聚中外行業(yè)領(lǐng)軍人物和技術(shù)大咖的盛會(huì)。在E7175號(hào)展位，來自半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的參展嘉賓紛紛駐足參觀，現(xiàn)場(chǎng)工作人員熱情地介紹產(chǎn)品、與訪客友好交流，共話集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展機(jī)遇。

萬業(yè)企業(yè)SEMICON China 2023展位

現(xiàn)場(chǎng)工作人員正在為來訪同行介紹產(chǎn)品

為芯“注”力：“國產(chǎn)離子注入機(jī)第一梯隊(duì)”凱世通重磅亮相

上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司成立于2009年，是萬業(yè)企業(yè)股份有限公司旗下的高端集成電路離子注入機(jī)裝備企業(yè)，其擁有國內(nèi)首個(gè)獲得驗(yàn)證驗(yàn)收的國產(chǎn)集成電路離子注入機(jī)大束流和高能離子注入機(jī)。不斷增長的主流集成電路制造廠商訂單量也見證著行業(yè)對(duì)凱世通的認(rèn)可，憑借強(qiáng)勁發(fā)展勢(shì)能，凱世通持續(xù)領(lǐng)跑國產(chǎn)低能大束流和高能離子注入機(jī)系列產(chǎn)品，已經(jīng)成長為國產(chǎn)第一梯隊(duì)核心設(shè)備廠商。

萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通SEMICON China 2023展位

低能大束流離子注入機(jī)iStellar-500系列產(chǎn)品

用途:

iStellar-500系列產(chǎn)品是凱世通推出的一系列低能大束流離子注入機(jī)，產(chǎn)品采用“通用平臺(tái)+關(guān)鍵技術(shù)模塊”研發(fā)模式，快速迭代升級(jí)并拓寬離子注入機(jī)產(chǎn)品線，覆蓋不同芯片對(duì)離子注入的需求，定位于為客戶提供更高可靠性、更低擁有成本的產(chǎn)品，并具有良好的產(chǎn)線工藝匹配能力和廣泛的制程覆蓋能力。

特點(diǎn):

高精度注入角度控制、顆粒污染控制、實(shí)現(xiàn)-100°超低溫注入、主流FAB產(chǎn)線批量生產(chǎn)

高能離子注入機(jī)iStellar-HE2000

用途:

iStellar-HE2000是凱世通推出的高能大束流離子注入機(jī)產(chǎn)品，采用“通用平臺(tái)+關(guān)鍵技術(shù)模塊”研發(fā)模式，高壓加速、高注入角度精準(zhǔn)度、納米級(jí)顆粒污染控制等關(guān)鍵技術(shù)，滿足芯片制造的高能離子注入需求。istellar-HE2000產(chǎn)品通過技術(shù)模塊持續(xù)改進(jìn)，為客戶提供更高可靠性、更低擁有成本的產(chǎn)品。

特點(diǎn):

高精度注入角度控制、顆粒污染控制、金屬污染控制、零部件國產(chǎn)化自主供應(yīng)

用芯“嘉”持：嘉芯半導(dǎo)體一站式解決方案展現(xiàn)硬實(shí)力

嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司成立于2021年，由萬業(yè)和全球半導(dǎo)體知名產(chǎn)業(yè)專家共同創(chuàng)立。現(xiàn)階段旗下已組成嘉芯迦能子公司、嘉芯閎揚(yáng)子公司與新產(chǎn)品研發(fā)部三大核心板塊。嘉芯半導(dǎo)體將先后布局8吋/12吋半導(dǎo)體前道設(shè)備的研發(fā)制造，為當(dāng)下主流成熟制程提供高性能的產(chǎn)品。目前公司已陸續(xù)向市場(chǎng)推出覆蓋刻蝕機(jī)、薄膜沉積、快速熱處理等多品類半導(dǎo)體設(shè)備，可為客戶提供一站式解決方案。

集成電路前道設(shè)備的一站式解決方案

嘉芯半導(dǎo)體集成電路前道設(shè)備一站式解決方案

嘉芯半導(dǎo)體從全流程出發(fā)，覆蓋CVD/PVD/刻蝕等主工藝設(shè)備 →真空泵→ 尾氣處理設(shè)備，為客戶構(gòu)建一站式設(shè)備解決方案。

自2022下半年開始，嘉芯半導(dǎo)體多次中標(biāo)多款設(shè)備，包含氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)與參會(huì)嘉賓密切交流

在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)首日，萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通和嘉芯半導(dǎo)體的集成電路前道設(shè)備產(chǎn)品受到了參會(huì)嘉賓高度的關(guān)注與肯定，公司也與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈客戶就項(xiàng)目合作、合作模式等進(jìn)行深入探討、交流。

展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)與參會(huì)嘉賓密切交流

在未來，萬業(yè)企業(yè)也將堅(jiān)持貫徹“1+N”設(shè)備平臺(tái)模式，以凱世通離子注入機(jī)為基礎(chǔ)，以嘉芯半導(dǎo)體為產(chǎn)業(yè)延申觸角，多方位布局集成電路核心裝備，為更多客戶提供一站式解決方案，為集成電路設(shè)備制造國產(chǎn)化添磚加瓦！

本文來源：財(cái)經(jīng)報(bào)道網(wǎng)

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